測(cè)試精度問題的關(guān)鍵在于消除測(cè)試夾具本身對(duì)微波產(chǎn)品測(cè)試參數(shù)的影響。無論是采用夾具還是評(píng)估板，其本身的微波性能和寄生參數(shù)會(huì)對(duì)微波產(chǎn)品的測(cè)試結(jié)果造成很大的影響。這時(shí)候測(cè)到的參數(shù)實(shí)際上是測(cè)試夾具（評(píng)估板）和微波產(chǎn)品形成的微波網(wǎng)絡(luò)整體的參數(shù)，只有將測(cè)試夾具的參數(shù)（主要是S參數(shù)）通過校準(zhǔn)的手段分離出去，才能精確的得到微波產(chǎn)品（待測(cè)件）本身的參數(shù)。國(guó)強(qiáng)裕興電子科技提供的高精度微波測(cè)量夾具配置平面電路校準(zhǔn)件，可以采用TRL、SOLR兩種校準(zhǔn)方式；

一、TRL校準(zhǔn)原理

TRL校準(zhǔn)，即直通-反射-延時(shí)校準(zhǔn)，適用于非同軸接頭測(cè)量，如微帶線、共面波導(dǎo)等。通過2個(gè)傳輸標(biāo)準(zhǔn)件和1個(gè)反射標(biāo)準(zhǔn)件來決定7項(xiàng)誤差模型；

TRL校準(zhǔn)，即直通-反射-延時(shí)校準(zhǔn)，適用于非同軸接頭測(cè)量，如微帶線、共面波導(dǎo)等。通過2個(gè)傳輸標(biāo)準(zhǔn)件和1個(gè)反射標(biāo)準(zhǔn)件來決定7項(xiàng)誤差模型；

優(yōu)點(diǎn)：1、可直接校準(zhǔn)到夾具測(cè)量中心 2、精度高，操作簡(jiǎn)單

缺點(diǎn)：1、單獨(dú)購(gòu)買或制作校準(zhǔn)件  2、只適用2N接收機(jī)結(jié)構(gòu)網(wǎng)絡(luò)儀

一、SOLR校準(zhǔn)

SOLR校準(zhǔn)法，也稱同軸非插入校準(zhǔn)法是互易未知直通校準(zhǔn)法，即開路-短路-直通-反射校準(zhǔn)。采用8項(xiàng)誤差模型進(jìn)行系統(tǒng)誤差系數(shù)求解。它對(duì)直通適配器沒有匹配和衰減等特性的要求，并且消除了部分需要移動(dòng)和彎曲電纜的測(cè)試影響。這種方法非常實(shí)用于多端口器件（尤其是BGA/LGA類多端口封裝）等情況。

優(yōu)點(diǎn)：
1、可直接校準(zhǔn)到夾具測(cè)量中心
2、精度高，操作簡(jiǎn)單

缺點(diǎn)：
1、單獨(dú)購(gòu)買或制作校準(zhǔn)件  
2、只適用2N接收機(jī)結(jié)構(gòu)網(wǎng)絡(luò)儀

兩種校準(zhǔn)方式均可以使用儀表自帶校準(zhǔn)程序，針對(duì)系統(tǒng)誤差的全部12項(xiàng)誤差模型校準(zhǔn)，將校準(zhǔn)端面延伸到待測(cè)件兩端，完全扣除夾具和系統(tǒng)鏈路帶來的影響，準(zhǔn)確測(cè)量待測(cè)件本身的參數(shù)。通過設(shè)計(jì)校準(zhǔn)件延伸校準(zhǔn)端面的原理如下圖。

微波測(cè)試夾具校準(zhǔn)件的設(shè)計(jì)

如上圖，若待測(cè)件前端和后端連接的微帶線長(zhǎng)度都是L，將直通校準(zhǔn)件微帶長(zhǎng)度設(shè)計(jì)成2L；開路校準(zhǔn)件經(jīng)過L長(zhǎng)度微帶線后做開放場(chǎng)處理；短路校準(zhǔn)件經(jīng)過L長(zhǎng)度微帶線后做對(duì)地短接處理；負(fù)載校準(zhǔn)件經(jīng)過L長(zhǎng)度微帶線后做微波吸收處理；延時(shí)校準(zhǔn)件相對(duì)直通的2L長(zhǎng)度來增加延時(shí)長(zhǎng)度。校準(zhǔn)時(shí)設(shè)置直通校準(zhǔn)件為零長(zhǎng)度，則校準(zhǔn)端面可以看做在直通校準(zhǔn)件的中心線，也就是待測(cè)件的兩端。

     高精度微波測(cè)量夾具的校準(zhǔn)可以直接使用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀內(nèi)部自帶的校準(zhǔn)程序，只需在儀表操作界面上添加校準(zhǔn)件箱，設(shè)置校準(zhǔn)模式（SOLT或TRL），將校準(zhǔn)件的參數(shù)輸入后即可在儀表的校準(zhǔn)菜單上生成校準(zhǔn)件選項(xiàng)，選擇后按儀表操作流程校準(zhǔn)。每一套測(cè)量夾具都會(huì)附帶詳細(xì)的使用說明和操作流程和數(shù)據(jù)，下圖是設(shè)置校準(zhǔn)件的一個(gè)界面示例。

矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀中設(shè)置校準(zhǔn)件的示例圖

使用設(shè)置好的校準(zhǔn)件進(jìn)行校準(zhǔn)后，網(wǎng)絡(luò)分析儀的校準(zhǔn)精度可以達(dá)到千分之一之內(nèi)，可通過測(cè)試校準(zhǔn)件的插損、駐波、相位等來驗(yàn)證校準(zhǔn)的效果和準(zhǔn)確度。下圖是校準(zhǔn)后直通校準(zhǔn)件的插損和駐波。

平面TRL校準(zhǔn)后直通校準(zhǔn)件的插損和駐波曲線