GRUMTF-3型手動探針臺

產品型號：     GRUMTF-3

適用范圍：

適用于放大器、濾波器、開關、衰減器、負載等半導體裸芯片或其他基于陶瓷基片、硅基片、砷化鎵、氮化鎵等材料的厚膜、薄膜、半導體工藝的微波器件、組件、模塊的高頻測試。

產品特點：

國產探針，測試頻率最高可達67GHz，處于國內領先水平

采用高精度微波探針，針地間距10μm-500μm

高倍電子顯微鏡實時監控探針和芯片連接

千分尺步進操控探針連接位置，超高精度，X-Y-Z雙面六向可調

采用負壓發生器將待測件吸附在測試平臺上，同時可配置限位片

校準件:

采用TRL陶瓷校準片，可以通過反射、延時、傳輸將儀表的測試參考面準確校準到待測件的兩端。校準片一般為氧化鋁陶瓷基片，尺寸特別微小時也可采用半導體硅基片，支持頻率最高可達67GHz。使用時先在儀表上設置校準件參數，然后按儀表提示依次將校準件放置到測試平臺上調整探針連接進行校準。

測試平臺:

GRUMTF-3的通用性極強，探針雙面六項可調，步進精度極高。不同尺寸的裸芯片可由負壓發生器吸附在測試平臺上，調節探針連接即可測試。探針分為GSG和GS兩種，對于只有單邊有接地面的待測件，也可通過限位片定位并補齊接地面通過GSG探針測試。